Досліджено властивості шарів полікремнію на ізоляторі, нерекристалізованих та після лазерної рекристалізації, легованих бором, в температурному діапазоні <$E 4,2~symbol Ш~300> К і в сильних магнітних полях до 14 Т. Проведено вимірювання температурної залежності опору нерекристалізованих і рекристалізованих шарів полікремнію з різною концентрацією носіїв від <$E 3~cdot~10 sup 17~ roman см sup -3> до <$E 1,7~cdot~10 sup 20~ roman см sup -3>, п'єзоопору рекристалізованих шарів з концентрацією носіїв <$E 4,8~cdot~10 sup 18~ roman см sup -3> і <$E 1,7~cdot~10 sup 20~ roman см sup -3> в інтервалі температур 4,2 - 300 К, а також магнітоопору всіх досліджуваних зразків за гелієвих температур. Визначено концентрації носіїв заряду шарів полікремнію на ізоляторі, придатних для створення сенсорів температури і п'єзорезистивних сенсорів механічних величин, працездатних за кріогенних температур і в сильних магнітних полях.

• Дружинін Анатолій Олександрович (фізико-математичні науки)
• Когут Ігор Тимофійович (технічні науки)
• Ховерко Юрій Миколайович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"