![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Книжкові видання та компакт-диски ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Журнали та продовжувані видання ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Автореферати дисертацій ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Реферативна база даних ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Наукова періодика України ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Тематичний навігатор ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000168051<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Поляков П. Ф. Микросистемная техника / П. Ф. Поляков, И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, В. А. Хорунжий, В. П. Поляков, Я. Ю. Королева // Радіоелектрон. і комп'ют. системи. - 2006. - № 4. - С. 21-30. - Библиогр.: 21 назв. - рус.Рассмотрены основные технологические методы изготовления микроэлектромеханических систем и особенности использования КМОП-технологии при изготовлении изделий микросистемной техники (МСТ). МСТ наряду с нанотехнологиями является революционным направлением развития техники XXI века. Ключ. слова: микросистемная техника Індекс рубрикатора НБУВ: К961.5
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24450 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|