Дудкин А. А. Оптический контроль конструкторско-технологических ограничений объектов топологии интегральных схем / А. А. Дудкин, А. А. Воронов // Искусств. интеллект. - 2007. - № 3. - С. 411-420. - Библиогр.: 10 назв. - рус.Предложены алгоритмы проверки ограничений на топологических слоях, которые должны выполняться при изготовлении интегральных схем, применительно к автоматизированным системам визуального контроля качества. Технология обработки, положенная в основу алгоритмов, включает в себя сегментацию изображений топологического слоя, выделение на них типовых образов с последующей их обработкой для определения дефектов. Особенностью технологии является то, что проверка на удовлетворение конструкторско-технологическим требованиям выполняется на разных этапах обработки. При этом трудоемкая процедура сравнения тестируемого изображения с эталонным с целью локализации дефектов осуществляется лишь для отдельных фрагментов изображения. Алгоритмы проверки ограничений являются составной частью системы обработки топологических слоев, которая применяется как для восстановления топологии интегральных схем, так и для контроля изготовления. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж15477 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|