Предложены алгоритмы проверки ограничений на топологических слоях, которые должны выполняться при изготовлении интегральных схем, применительно к автоматизированным системам визуального контроля качества. Технология обработки, положенная в основу алгоритмов, включает в себя сегментацию изображений топологического слоя, выделение на них типовых образов с последующей их обработкой для определения дефектов. Особенностью технологии является то, что проверка на удовлетворение конструкторско-технологическим требованиям выполняется на разных этапах обработки. При этом трудоемкая процедура сравнения тестируемого изображения с эталонным с целью локализации дефектов осуществляется лишь для отдельных фрагментов изображения. Алгоритмы проверки ограничений являются составной частью системы обработки топологических слоев, которая применяется как для восстановления топологии интегральных схем, так и для контроля изготовления.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"