Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000171760<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Шалаев Р. В. Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р. В. Шалаев, А. М. Прудников, В. Н. Варюхин, В. Н. Турка, А. А. Яковец, И. В. Жихарев, Б. В. Беляев, В. А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. - 2006. - 16, № 3. - С. 88-95. - Библиогр.: 7 назв. - рус.Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование трех принципиально различных типов пленок a-C:N. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14388 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|