РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000172424<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Бойко В. Г. 
Отработка технологии получения оксидных пленок для различных структур оптоэлектроники на промышленной установке магнетронного типа "Катод-1М" / В. Г. Бойко, С. Н. Гурьянов, Н. С. Заяц, М. А. Мухльо // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2005. - Вып. 40. - С. 143-148. - Библиогр.: 5 назв. - рус.

Рассмотрена технология изготовления конденсаторных структур на основе диэлектриков Ta2O5, AlNdO3 и BaTiO3 на модернизированной промышленной установке магнетронного распыления "Катод-1М". Приведены параметры полученных пленок, достигнуты оптимальные условия их получения. Рассмотрены возможности дальнейшего улучшения свойств полученных пленок.


Індекс рубрикатора НБУВ: З861 + К663.033

Рубрики:
 Оптоелектроніка 
 Металізація металів розпилюванням (шоопірування) 

Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського