Перекрестов В. І. Прояв селективних процесів в умовах нерівноважної стаціонарної конденсації Cu та Al / В. І. Перекрестов, Ю. О. Космінська, Г. С. Корнющенко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2005. - 6, № 3. - С. 398-402. - Бібліогр.: 12 назв. - укp.Теоретично передбачено і експериментально реалізовано просторово розподілену селективність у процесі формування шарів Al і Cu з використанням стаціонарної нерівноважної конденсації (СНК). Показано, що "архітектура" шарів визначається положенням критичної енергії по відношенню до ефективних енергій зв'язку сконденсованих атомів на моносходинках різних кристалографічних площин, причому швидкість СНК можна суттєво підвищити, впливаючи на ростову поверхню потоком іонів приблизно однакової енергії. Ключ. слова: надпоруватий шар, нерівноважна конденсація, просторово розподілена селективність, критичний зародок, адатом, ефективна енергія зв'язку, критична енергія, планарний магнетрон на постійному струмі, зворотня дифузія Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030.022
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|