Розглянуто сучасний стан і напрямки досліджень нанометрової літографії. Наведено характеристики оптичної і альтернативних безмаскових літографій для масового виробництва IС. Виділено напрямки досліджень і задачі, які необхідно розв'язати для створення <$E alpha>-версії вітчизняної матрично-емітерної літографії. Запропоновано апаратну декомпресію даних на основі модифікованого методу BWT із збільшеними буферами стискання. Запропоновано інтегровані КМОН КНІ структури на основі базових матричних кристалів для реалізації IС, логіки, пам'яті і керування випромінювачами.

• Голота Віктор Іванович (технічні науки)
• Дружинін Анатолій Олександрович (фізико-математичні науки)
• Когут Ігор Тимофійович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"