Павлова О. П. Твердофазні реакції і оптичні властивості в багатошарових наноструктурах Ti/Si на монокристалічнім кремнії / О. П. Павлова, Ю. В. Кудрявцев, Ю. М. Макогон, О. А. Шоцький // Металлофизика и новейшие технологии. - 2006. - 28, № 12. - С. 1589-1602. - Бібліогр.: 20 назв. - укp.На прикладі багатошарової плівки (БШП) (3,0 нм Ti/6,7 нм Si)20 на монокристалічному кремнії (100) з середнім по об'єму складом TiSi2 показано потенційні можливості методу спектральної еліпсометрії для вивчення спонтанних або викликаних термічним відпалом твердофазних реакцій в БШП. За результатами рентгенофазового аналізу після одержання БШП Ti/Si перебувала в рентгеноаморфному стані, і відпали в інтервалі температур 470 - 1070 K не супроводжувалися структурними змінами. Згідно ж з оптичними даними дифузійні процеси, які супроводжуються структурними змінами, мають місце вже при відпалі за умови 470 К. На підставі порівняння експериментальних оптичних властивостей БШП Ti/Si, відпалених за різних температур, з модельними, одержаними для різних моделей структури БШП, зроблено висновки про формування в рентгеноаморфних БШП різних структур близького порядку. Незалежно від результатів рентгенофазового аналізу, якісний висновок про утворення кристалічних фаз, викликане кристалізаційним відпалом БШП Ti/Si при 1070 та 1170 K, можна зробити на підставі вивчення лише оптичних властивостей БШП. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж620
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|