Досліджено структурні, фотолюмінесцентні і електричні властивості нанокомпозитних плівок SiOx та SiO2(Si), одержаних за допомогою методу плазмохімічного осадження з парогазової фази (РЕ CVD) за різних співвідношень газів SiH4/N2O в процесі осадження. Виміри C - V-характеристик вказують на накопичення як позитивного, так і негативного заряду в плівках SiOx(Si).

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"