Предложена динамическая модель микроэлектромеханического (MEMS) конденсатора с электростатическим управлением на базе теории многостороннего преобразователя А. А. Харкевича с учетом теплового воздействия. Проведено моделирование двухэлектродного емкостного MEMS-преобразователя, определены динамические зависимости величины хода электрода и емкости (а также время срабатывания устройства) при температурах окружающей среды в диапазоне (293 - 323) К. Получена и проанализирована динамическая характеристика механического сопротивления системы с учетом рабочей температуры и параметров MEMS-конденсатора.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"