На базі дифузійного наближення опису перенесення речовини під дією іонного пучка розроблено математичну модель процесу напилення тонких плівок. Розраховано об'ємні профілі концентрацій компонентів, що формуються у процесі напилення плівки нікелю на мідну підкладку для енергій іонів 100, 200 і 400 еВ і щільності іонного потоку <$E I~=~10 sup 15 ,~10 sup 16> і <$E 10 sup 17~1 "/" ( roman {см sup 2~cdot~с})>. Оцінку модельних параметрів напилення одержано за допомогою програм SUSPRE і SRIM. Порівняно одержані профілі концентрацій компонентів.

• Корніч Григорій Володимирович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"