Запропоновано структуру системи для автоматизованого проектування мікроелектромеханічних систем (МЕМС), яка включає: підсистему моделювання технологічних маршрутів виготовлення інтегральних схем (ІС) та МЕМС - "ПроМІС-Т(МЕМС)", підсистему твердотільного (ПроМІП-Тв), функціонального (ПроМІП-Ф) та системного (ПроМІП-С) моделювання. Розроблено модель об'єкта проектування та процесу автоматизованого проектування МЕМС на базі мереж Петрі та запропоновано використовувати теорію чутливості для підвищення ефективності автоматизованого проектування на ієрархічних рівнях.

• Теслюк Валентина Михайлівна (психологічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"