За допомогою спектроеліпсометричного методу Бітті досліджено оптичні властивості тонких плівок на основі TiAlSiN до та після відпалу. За кімнатної температури одержано дисперсійні залежності оптичної провідності <$E sigma>, дійсної частини діелектричної функції <$E epsilon sub 1> та енергетичного коефіцієнта відбиття R за нормального кута падіння світла плівок у спектральному інтервалі 1 - 4,8 еВ. Інтенсивне поглинання у ближній ультрафіолетовій і малоінтенсивні особливості у ближній інфрачервоній областях, які спостережено на кривих <$E sigma> на тлі внутрішньозонного поглинання, пов'язані з міжзонними переходами електронів. Відпал плівок за температури 600 <$E symbol Р>C протягом 30 хв суттєво не змінив їх оптичних властивостей. Відмінності у характері кривих <$E sigma> для різних покриттів слід пояснити їх різними хімічними складами, а також різною структурою приповерхневого шару внаслідок відмінностей способів їх нанесення.

Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226 + В379.24

Рубрики:

Тонкі шари напівпровідників

Оптичні властивості напівпровідників

Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Наконечна Олена Іванівна (філологічні науки)
• Приймачок Оксана Іванівна (1965–) (філологічні науки)
• Наконечна Олеся Іванівна (фізико-математичні науки)
• Юргелевич Ірина Владиславівна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"