Наведено результати аналізу основних існуючих структурних схем мікроелектромеханічних систем (МЕМС); визначено області їх використання, переваги та недоліки. На підставі аналізу сучасного стану та тенденцій розвитку науково-прикладної області МЕМС розроблено нові структурні схеми з поліпшеними параметрами швидкодії на підставі реалізації багатьох функцій в апаратний спосіб та використання розподіленого оброблення інформації від мікродавачів. Побудовано структурні схеми МЕМС для реалізації інтегральних пристроїв типу "мікролабораторія на кристалі", "розумний порох", "розумних структур" і "розумних поверхонь".

• Теслюк Валентина Михайлівна (психологічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"