Методом компьютерного моделирования исследован процесс формирования наноструктуры пленок меди при низкотемпературном осаждении. Показано, что образование наноблоков в объеме связано с развитием морфологической неустойчивости на поверхности растущей пленки. Получены временные зависимости шероховатости пленки. Установлено, что механизм зарождения конденсационных микротрещин, разделяющих наноблоки, вызван флуктуационным зарождением зон, содержащих дефект упаковки, а их рост и последующее образование вакансионных кластеров определяются эффектом искривления траектории падающих атомов в силовом поле поверхностных атомов. Изучено изменение плотности пленок по глубине. Сделан вывод о переходе при низкотемпературном осаждении от стохастического роста к фазе упорядоченного роста нанокристаллов.

• Марченко Іван Григорович (1957–) (фізико-математичні науки)
• Неклюдов Іван Матвійович (1935–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"