Досліджено процеси запалювання, згасання та режими горіння високочастотного, комбінованого та двочастотного газових розрядів низького тиску. Установлено закон подібності для високочастотного (ВЧ) пробою газу <$EU sub rf ~=~ xi (p~ cdot ~L,~L"/"R,~ symbol Ж ~ cdot ~L)>. Запропоновано новий метод визначення дрейфової швидкості електронів з виміряних ВЧ кривих запалювання. Виміряно значення дрейфової швидкості електронів в аргоні, азоті, кисні, водні, аміаку, повітрі, <$Eroman {SF sub 6 ,~CF sub 4 ,~N sub 2 O,~SiH sub 4 }> у діапазозні сильного електричного поля <$EE"/"p~ symbol Ы ~70~-~1~600~ roman В"/"(см~Торр)}>. Установлено, що область існування слабкострумового <$Ealpha>-режиму обмежена з боку високого, а також низького тиску газу. У разі високого тиску газу <$Ealpha ~-~ gamma> перехід супроводжується пробоєм приелектродних шарів, а за низького тиску під час <$Ealpha ~-~ gamma> переходу пробій шарів не виникає, але шари стають джерелом швидких електронів. У <$Eroman {SF sub 6 ,~NF sub 3 }> та <$Eroman SiH sub 4> ВЧ розряд може існувати у трьох різних модах: слабкострумовій <$Ealpha>-моді, сильнострумовій <$Egamma>-моді та дисоціативній <$Edelta>-моді. Можуть спостерігатися три моди двочастотного ВЧ (27, 12 МГц)/низькочастотного (НЧ) (2МГц) розряду, а саме: несамостійний ВЧ розряд, збурений НЧ електричним полем; комбінований розряд; несамостійний НЧ розряд, збурений ВЧ електричним полем.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Лісовський Валерій Олександрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"