Вивчено процеси термостимульованого розділення фаз у плівках <$E{ roman SiO} sub x>, що призводять до формування наночастинок кремнію в оксидній матриці, а також досліджено можливості впливу на фотолюмінесцентні (ФЛ) характеристики структур <$E{ roman {Si ~-~SiO}} sub x>. Досліджено зміни структури та складу <$E{ roman SiO} sub x> шарів у процесі термічного відпалу в інтервалі часів від 1 с до 30 хв, за температур від 300 до <$E1~000~ symbol Р roman C>. З'ясовано кінетику термостимулювального розділення фаз субоксидів кремнію та формування наночастинок кремнію в оксидній матриці. Показано, що рухливість кисню спричинює фазово-структурні перетворення у процесі термостимульованого розкладу шарів <$E{ roman SiO} sub x>. Розроблено технологію формування поруватих світловипромінювальних структур <$E{ roman {nc~-~Si ~-~SiO}} sub x>, що полягає в осадженні монооксиду кремнію на підкладинки, розміщенні під кутом до напрямку потоку випаровуваної речовини, та подальшого їх відпалу. Показано можливість контролювати склад і структуру осадженої <$E{ roman SiO} sub x> плівки, а також спектральний склад фотолюмінесценції nc - Si за рахунок зміни кута осадження. Вивчено вплив хімічної (насиченої парами ацетону й аміаку) та ВЧ плазмової обробки шарів <$E{ roman SiO} sub x> на формування nc - Si та їх ФЛ властивості. Хімічна обробка паруватих шарів <$E{ roman SiO} sub x> до відпалу призводить до появи кроткохвильової смуги ФЛ поблизу 600 нм. Зміни спектру ФЛ зумовлені модифікацією межі поділу <$E{ roman {nc~-~Si ~-~SiO}} sub x> за рахунок заміни атомів кисню на азот або вуглець у процесі хімічної обробки

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Майданчук Іван Юрійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"