Встановлено механізми атомного преміщування в багатошарових нанорозмірних плівкових композиціях на основі кремнію за іонно-променевої, термічної та радіаційної дії. Досліджено закономірності іонно-променевого перемішування та дифузії у багатошаровій плівковій композиції (БПК) з бар'єрними шарами. Вивчено процеси іонно-променевого переміщування в БПК Mo/Si за опромінення іонами <$Eroman He sup +> з енергією 40 кеВ та дозами до <$E4~ cdot ~10 sup 16 ~ roman см sup -2>. Вивчено вплив температури на іонно-променеве перемішування БПК. Встановлено інтервали слабкої й сильної залежності переміщування від температури. Визначено енергію активації процесів переміщування для даних інтервалів. Вивчено роль вуглецевих бар'єрів в ослабленні переміщування за термічної та іонно-променевої дії. Досліджено дифузійну взаємодію в БПК Mo/Si в інтервалі температур <$E275~-~450~ symbol Р roman C>.

• Пеньков Олексій Володимирович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"