Поздєєв С. В. Удосконалення еліпсометричного методу для атестації модифікованих електронним променем поверхонь оптичного скла : Автореф. дис... канд. техн. наук : 05.11.13 / С. В. Поздєєв; Нац. техн. ун-т України "Київ. політехн. ін-т". - Черкаси, 2002. - 20 c. - укp.За допомогою еліпсометричного методу досліджено оптичні властивості поверхневих шарів оптичних стекол К-8 і ТФ-5, а також тонких (<$E10~ symbol Ш ~30> нм) металевих плівок на підкладках з цих стекол, що піддано поверхневій електронно-променевій обробці. Проаналізовано моделі механізмів впливу електронно-променевої обробки на поверхневі шари оптичних стекол з метою прогнозування властивостей виробів. Розроблено ефективні методи еліпсометричних досліджень даних зразків, визначено принципи еліпсометричного експрес-контролю якості поверхонь оптоелектронних скляних плат, отриманих після електронно-променевої обробки. Надано рекомендації щодо проведення еліпсометричних вимірювань для досягнення найбільш високої точності та продуктивності. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.16-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА319977 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Автореферати дисертацій Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|