Замулко С. О. Формування силіцидних фаз при реакційній дифузії в системах "плівкові шари (5 - 30 нм) Ni Ti, - монокристалічний кремній" : Автореф. дис... канд. техн. наук / С. О. Замулко; Нац. техн. ун-т України "Київ. політехн. ін-т". - К., 2006. - 21 c. - укp.Запропоновано багатостадійну модель структурних та фазових перетворень у процесах реакційної дифузії в системах Ni - Si, Ti - Si за термічної обробки в інтервалі температур 773К - 1273К. Виявлено ефект "дифузійної перебудови" системи Ni - Ti - Si в систему Ti - Ni - Si за температури відпалу 723 К на основі порівняльного аналізу концентраційних розподілень компонентів. Встановлено, що особливу роль в дифузійному масопереносі компонентів за термічної обробки досліджених систем відіграє зовнішня поверхня: процеси, що розвиваються на зовнішній поверхні, термодинамічно обумовлюють масоперенос компонентів в об'ємі тонкоплівкової системи; зовнішня поверхня є стоковою для атомів титану, коли титан є проміжним шаром; коли на поверхні утворюється оксид титану, зовнішня поверхня відіграє роль дифузійного бар'єра для атомів речовини глибинних шарів. Запропоновано моделі дифузійного росту нових фаз: модель дифузії з реакцією в системі "підкладинка - шар скінченної товщини"; модель масопереносу у плоскошаровій системі "тверда фаза - рідка фаза - тверда фаза"; модель дифузійного росту включень нової фази різної геометричної форми в об'ємному середовищі, що є вичерпним джерелом дифузанту. Показано можливість практичного використання одержаних числовими методами розв'язків для моделювання та прогнозування дифузійного росту нових фаз. Індекс рубрикатора НБУВ: К204.32 + К663.7
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА342457 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Автореферати дисертацій Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|