Обобщено современное состояние "инженерии" фазово-структурного и напряженного состояния вакуумно-плазменных покрытый. Описаны физические принципы двух наиболее используемых технологических устройств синтеза покрытий методами ионно-плазменного распыления и вакуумно-дугового испарения. Как в первом так и во втором случае дальнейшие этапы процесса нанесения включают частичную или полную ионизацию распыленных (испаренных) атомов, химические и плазмохимические реакции при подаче реакционного газа, осаждение покрытия на подложку. Рассмотрены ионно-плазменные методы получения конденсатов в вакууме при низкой степени ионизации пленкообразующего потока. Изучены структурные особенности материалов, полученных ионным распылением.

• Азарєнков Микола Олексійович (1951–) (фізико-математичні науки)
• Соболь Олег Валентинович (фізико-математичні науки)
• Соболь Оксана Вікторівна (хімічні науки)
• Погребняк Анатолій Дмитрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"