Досліджено процес взаємодії зонда зі зразком і розроблено математичну модель рівняння вимірювання розмірів на атомно-силовому мікроскопі, в якій враховуються похибки, що виникають в процесі взаємодії зонда та зразка. Розглянуто проблему виникнення переміщення вістря зонда під час нахилу осі сканувального зондового мікроскопа, одержано математичну модель впливу знайденого ефекту на точність вимірювання. Вдосконалено метод коригування параметрів неортогональності сканера. Розвинено метод сканування, який проводить вимірювання параметрів поверхні з кутом нахилу бічних стінок виступів менше кута нахилу твірної конуса зонда.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Задорожній Роман Олександрович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"