Розглянуто фізико-хімічні основи технології виробництва напівпровідникового кремнію. Розкрито вплив структурної недосконалості та термічної обробки на його електрофізичні та фізико-хімічні властивості. Охарактеризовано вакуумне та криогенне устаткування для одержання даного матеріалу. Визначено природу мікродефектів, вплив структурних дефектів на електрофізичні характеристики кремнію. Розглянуто способи одержання кремнію зі здалегідь заданими властивостями, зокрема тонкою структурою його монокристалів. Увагу приділено фазовим переходам в напіпровідниках, особливостям утворення твердих розчинів і розрахунку енергії взаємодії кремній - легувальний елемент. Описано роботу приладів на основі кремнію та області його застосування.

Рассмотрены физико-химические основы технологии производства полупроводникового кремния. Раскрыто влияние структурного несовершенства и термической обработки на его электрофизические и физико-химические свойства. Охарактеризовано вакуумное и криогенное оборудование для получения данного материала. Определены природа микродефектов, влияние структурных дефектов на электрофизические характеристики кремния. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами, в частности тонкой структурой его монокристаллов. Уделено внимание фазовым переходам в полупроводниках, особенностям образования твердых растворов и расчету энергии взаимодействия кремний - легирующий элемент. Описаны работа приборов на основе кремния и области его применения.

• Червоний Іван Федорович (технічні науки)
• Куцова Валентина Зиновіївна (1939–) (технічні науки)
• Носко Ольга Анатоліївна (технічні науки)
• Єгоров Сергій Геннадійович (технічні науки)
• Воляр Роман Миколайович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"