Викладено технологічні основи сучасної електроніки. Значну увагу приділено аналізу основних етапів технологічних процесів виготовлення виробів електронної техніки - від матеріалів до готових інтегральних схем (ІС). Проведено поблочний аналіз базової технології формування монолітних напівпровідникових ІС планарної технології з її груповою технологічною обробкою та багатократним повторенням мікролітографії в комбінації з іншими процесами (травлення, окиснення, легування та ін.), за якою виготовляється основна маса ІС. Акцентовано на технологіях одержання легованих і модифікованих шарів напівпровідникових структур, виробництва нових структур електронної техніки (аморфних напівпровідників та ін.), методах одержання приладових структур (електронно-дірковий перехід, гетероперехід, надгратки). Охарактеризовано технологічні методи пасивації, металізації приладових структур та приладів електроніки, методи діелектричної ізоляції окремих елементів ІС. Розглянуто особливості процесів складання напівпровідникових приладів та ІС.

• Сукач Георгій Олексійович (фізико-математичні науки)
• Кідалов Валерій Віталійович (1960–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"