Рассмотрены возможности формирования нанокристаллических высокотвёрдых покрытий методом вакуумно-дугового осаждения с ВЧ-стимуляцией (high-frequency discharge). Конденсаты систем Zr(Ti) - Si - N содержат кристаллиты двух фаз ZrN и TiN и твёрдого раствора (Zr, Ti)N. Кристаллиты в конденсате находятся под действием деформации сжатия в плоскости роста плёнки величиной порядка -1,1 %, что соответствует действию сжимающих напряжений в системе плёнка - подложка величиной 3,5 ГПа. Выяснены различия в фазовом составе и в механических свойствах покрытий на основе TiN, Ti - Si - N и Zr - Ti - Si - N, осаждённых на сталь до и после воздействия ВЧ-стимуляции. Обнаружено, что воздействие ВЧ-стимуляции привело к уменьшению размеров кристаллитов и повышению жёсткости покрытий. Улучшение свойств покрытий в результате ВЧ-стимуляции достигается за счёт фазовых превращений, сглаживания шероховатости поверхности, гомогенизации покрытия и уменьшения размеров нанозёрен.

• Кирик Григорій Васильович (1962–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"