Вивчено вплив адсорбції водню та метану на високочастотну (1 МГц) провідність і ємність сенсорних структур на основі поруватого кремнію. Зареєстровано суттєву зміну електричних параметрів залежно від парціального тиску газів. Розраховано адсорбційну чутливість структур на основі поруватого кремнію та багатошарових структур з плівкою каталітичного матеріалу. Показано, що селективність сенсорів до водню або метану можна покращити шляхом нанесення на поверхню поруватого кремнію каталітичної плівки паладію або поліепоксипропілкарбазолу. Виявлено помітну чутливість спектрів фотолюмінесценції поруватого кремнію до адсорбції молекул аміаку та етанолу. Одержані результати дозволяють оптимізувати процеси формування селективних сенсорів газу на основі поруватого кремнію.

• Монастирський Любомир Степанович (фізико-математичні науки)
• Оленич Ігор Богданович (фізико-математичні науки)
• Аксіментьєва Олена Ігорівна (хімічні науки)
• Соколовський Богдан Степанович (технічні науки)
• Павлик Михайло Романович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"