Розроблено комп'ютерну модель плоского розпорошувального магнетронного розряду. Рух частинок описано за допомогою методу Монте-Карло. В результаті моделювання одержано енергетичні спектри іонів, які бомбардують катод. Досліджено залежності позицій іонізацій, кутів падіння іонів, часу прольоту та їх кількості від тиску робочого газу та напруженості магнітного поля.

• Богданов Роман Вікторович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"