Борисов А. В. Микроэлектронные сенсоры для контроля температуры интегральных микросхем / А. В. Борисов, В. А. Гусев, Л. Н. Павлов, П. А. Яганов // Электроника и связь. - 2010. - № 1. - С. 5-11. - Библиогр.: 11 назв. - рус.Рассмотрены проблемы определения температуры подложки интегральной микросхемы (ИМС). Обосновано, что для измерения температуры подложки ИМС целесообразно использовать термочувствительные свойства структур, входящих в состав её элементной базы. В этом случае нет необходимости применять термосенсоры специальных конструкций для измерения температуры микрообъектов, к которым относится ИМС. Рассмотрены особенности микроэлектронных термосенсоров на основе резистивных, диодных и транзисторных структур. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15-04
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж69367 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|