У монокристалах кремнію за імплантації ядер водню (протонів) з енергією E = 6,8 МеВ (<$E PHI~=~1~-~3~cdot~10 sup 17> см<^>-2), E = 43 МеВ (<$E PHI~=~1~cdot~10 sup 17> см<^>-2), E = 50 МеВ (<$E PHI~=~5~cdot~10 sup 16> см<^>-2) і ядер гелію (альфа-частинок) з енергією E = 27,2 МеВ, (<$E PHI~=~1~cdot~10 sup 17> см<^>-2) виявлено радіаційний вплив і поширення періодичної дефектної структури в запробіжну для іонів частину зразків ("ефекти далекодії"), які не передбачені існуючою теорією іонної імплантації. Радіаційний вплив опромінення протонами на прискорене утворення термодефектів у прошарках росту кристалів кремнію в запробіжній частині зразків є більш інтенсивним і спостерігається за температури відпалювання на 50 <$E symbol Р>C нижчої, ніж у пробіжній. У процесі опромінення альфа-частинками виявлено утворення періодичної дефектної структури у вигляді "стінок" дефектів перпендикулярних до напрямку руху іонного пучка, яка спостерігається як до, так і за областю гальмування іонів. Формування періодичної дефектної структури пов'язано з процесом самоорганізації радіаційних дефектів, а поширення радіаційного впливу в запробіжну для іонів частину кристала - з можливою реалізацією солітонного механізму.

Індекс рубрикатора НБУВ: В389.222 + В379.227

Рубрики:

Радіаційні ефекти в напівпровідниках

Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Хіврич Володимир Ілліч (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"