Сформулировано определение математической модели МЭМС-резонатора балочного типа. Изложены принципы моделирования физического состояния элементов МЭМС. Описана цепочка вычислительных процедур, опирающихся на фундаментальные положения механики и теории электрических явлений, последовательное выполнение которых позволяет построить математическую модель резонатора. Показано, что частотно зависимые свойства МЭМС-резонатора полностью определяются механическими смещениями материальных частиц поляризованного сегнетоэлектрика подвижной части стержня. Приведена методика расчета продольного компонента вектора смещения подвижной части МЭМС-резонатора, которая учитывает реакцию опор стержня.

• Богдан Андрій Васильович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"