Білик Т. Ю. Технологічні методи керування властивостями наноструктурованого кремнію / Т. Ю. Білик, О. М. Шмирєва, М. М. Мельниченко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2009. - 7, вип. 2. - С. 395-402. - Бібліогр.: 9 назв. - укp.Зазначено, що у процесі формування наноструктурованого кремнію на підложках монокристалічного кремнію відбувається зміна не тільки структурних властивостей, що призводить до зміни ширини забороненої зони та прояву квантово-розмірних ефектів, але й утворення на поверхні нових сполук кремнію з підвищеним вмістом водню й аморфного кремнію. Така складна структура обумовлює прояв нових електро-, теплофізичних, фотоелектричних і фотолюмінесцентних властивостей, що дозволяє створювати нові типи напівпровідникових приладів, зокрема, фотоприймачі короткохвильової частини спектра. Досліджено технологічні методи керування функціональними властивостями наноструктурованого кремнію із застосуванням нових складів протравлювачів. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж620 + Г124.2-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|