Зазначено, що у процесі формування наноструктурованого кремнію на підложках монокристалічного кремнію відбувається зміна не тільки структурних властивостей, що призводить до зміни ширини забороненої зони та прояву квантово-розмірних ефектів, але й утворення на поверхні нових сполук кремнію з підвищеним вмістом водню й аморфного кремнію. Така складна структура обумовлює прояв нових електро-, теплофізичних, фотоелектричних і фотолюмінесцентних властивостей, що дозволяє створювати нові типи напівпровідникових приладів, зокрема, фотоприймачі короткохвильової частини спектра. Досліджено технологічні методи керування функціональними властивостями наноструктурованого кремнію із застосуванням нових складів протравлювачів.

• Білик Тетяна Юріївна (технічні науки)
• Шмирєва Олександра Миколаївна (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"