Богданов Р. В. Комп'ютерне моделювання магнетронного розпилювального пристрою з двома зонами ерозії / Р. В. Богданов, О. М. Костюкевич // Вісн. Київ. нац. ун-ту. Сер. Фіз.-мат. науки. - 2012. - Вип. 1. - С. 249-260. - Бібліогр.: 17 назв. - укp.Мета роботи - побудова комп'ютерної моделі магнетронного розпилювального пристрою для потреб нанотехнологій. Розроблено програму, що дозволяє проводити якісний аналіз процесів іонізації та прискорення частинок у магнетронному розпилювальному пристрої з двома зонами ерозії, визначати їх розподіл по поверхні катода та енергію. За допомогою даної програми відтворено експериментально спостережене явище індивідуального запалювання окремих зон розряду за малих струмів та відповідних їм напруг. Як результат моделювання одержано енергетичні спектри іонів, які бомбардують катод, їх розподіл по поверхні катода, що має важливе значення для аналізу процесу розпилення катода-мішені. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж620 + В333.212.3 в641
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж28079/фіз.-мат. Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|