Мета роботи - побудова комп'ютерної моделі магнетронного розпилювального пристрою для потреб нанотехнологій. Розроблено програму, що дозволяє проводити якісний аналіз процесів іонізації та прискорення частинок у магнетронному розпилювальному пристрої з двома зонами ерозії, визначати їх розподіл по поверхні катода та енергію. За допомогою даної програми відтворено експериментально спостережене явище індивідуального запалювання окремих зон розряду за малих струмів та відповідних їм напруг. Як результат моделювання одержано енергетичні спектри іонів, які бомбардують катод, їх розподіл по поверхні катода, що має важливе значення для аналізу процесу розпилення катода-мішені.

• Богданов Роман Вікторович (фізико-математичні науки)
• Костюкевич Оксана Михайлівна (медичні науки)
• Костюкевич Олександр Миколайович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"