Досліджено характер та кінетику хімічного розчинення і хімічної різки InAs у розчинах брому в бромистоводневій кислоті. Показано, що швидкість розчинення InAs за низьких концентрацій брому (до 6 об. % Br₂) збільшується лінійно, і ці розчини можуть використовуватися для хімічного полірування InAs. У разі 20 - 30 об. % Br₂ у HBr протравлювачі розчиняють InAs із швидкістю 25 - 50 мкм/хв з утворенням полірованих поверхонь з ямками травлення. Ці розчини можуть бути використані для хімічної різки арсеніду індію.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"