Методику мас-спектрометрії вторинних постіонізованих нейтральних частинок використано для кількісного аналізу борофосфосилікатних плівок, нанесених методом низькотемпературного піролізу на кремнієву підкладку. Проблему зарядження поверхні зразка вирішено застосуванням режиму високочастотного розпилювання дослідженого зразка. Показано, що режими розпилювання суттєво впливають на макро- і мікрорельєф плівки та результати пошарового аналізу структур. Скважність прикладеної до зразка напруги розпилення впливає на форму кратера. Збільшення частоти розпилення призводить до появи тонких шпилів на дні кратера. Покращання роздільної здатності методики за глибиною потребує оптимізації скважності та частоти прикладеної до зразка напруги розпилення.

• Оберемок Олександр Степанович (фізико-математичні науки)
• Литвин Петро Мар'янович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"