Misiuk A. Hydrogen gettering in annealed oxygen-implanted silicon / A. Misiuk, A. Barcz, A. Ulyashin, I. V. Antonova, M. Prujszczyk // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. - 2010. - 13, № 2. - С. 161-165. - Бібліогр.: 9 назв. - англ.Hydrogen gettering by buried layers formed in oxygen-implanted silicon (Si:O prepared by <$E roman O sub 2 sup +> implantation at the energy 200 keV and doses 10<^>14 and 10<^>17 cm<^>-2) was investigated after annealing of Si:O at temperatures up to 1570 K, including also processing under enhanced hydrostatic pressure, up to 1,2 GPa. Depending on processing conditions, buried layers containing SiO2-x clusters and/or precipitates were formed. To produce hydrogen-rich Si:O,H structures, Si:O samples were subsequently treated in RF hydrogen plasma. As determined using secondary ion mass spectrometry, hydrogen was accumulated in sub-surface region as well as within implantation-disturbed areas. It has been found that hydrogen was still present in Si:O,H structures formed by oxygen implantation with the dose <$E D~=~10 sup 7~roman cm sup -2> even after post-implantation annealing up to 873 K. It is concluded that hydrogen accumulation within the disturbed areas in Si:O as well as in SOI structures can be used for recognition of defects. Індекс рубрикатора НБУВ: В379
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16425 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|