Проаналізовано сучасний стан пристроїв для визначення товщини плівок. Обгрунтовано вибір первинного перетворювача товщини, переваги і недоліки ємнісних вимірювальних перетворювачів. З'ясовано різновиди вторинних перетворювачів сигналів ємнісного первинного чутливого елемента. Наведено основи побудови радіовимірювальних перетворювачів з частотним виходом на основі реактивних властивостей транзисторних структур. Розглянуто електричні схеми й експериментальні дослідження основних параметрів радіовимірювальних перетворювачів для вимірювання товщини плівок. Описано застосування автоматизованої вимірювальної системи установки для термовакуумного нанесення покриттів, доповнену радіовимірювальним перетворювачем для визначення товщини плівок, та розробленого радіовимірювального перетворювача для визначення товщини у системах виробництва полімерної плівки.

• Осадчук Владимир Степанович (технічні науки)
• Криночкін Роман Володимирович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"