Соболь О. В. Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряженно-деформированное состояние TiN-покрытий / О. В. Соболь, А. А. Андреев, С. Н. Григорьев, М. А. Волосова, В. А. Столбовой, В. Е. Фильчиков, Н. В. Киданова, Г. В. Антоненкова, Н. Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. - 2013. - 35, № 7. - С. 943-951. - Библиогр.: 19 назв. - рус.Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5 - 230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы <$E2~cdot~10 sup -3> и <$E5~cdot~10 sup -3> торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряженно-деформированных состояний вакуумно-дуговых TiN-покрытий. Показаны возможности направленного изменения (рост кристаллитов с осью текстуры [111], повышение напряженно-деформированного состояния сжатия и увеличение среднего размера кристаллитов) при повышении абсолютного значения подаваемого отрицательного потенциала. Проанализированы причины наблюдаемых изменений с учетом влияния на их проявления рабочего давления азотной атмосферы в процессе осаждения. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.235.6-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|