Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе нитевидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температурах. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило повысить диапазон рабочих температур датчиков. На основе предложенной тензомодульной конструкции разработаны датчики давления различной модификации.

Проведено дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних датчиків тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію, працездатних за високих температур. Використання склоприпою для кріплення тензорезисторів на пружних елементах датчиків з коварового сплаву дозволило підвищити діапазон робочих температур датчиків. На основі запропонованої тензомодульної конструкції розроблено датчики тиску різної модифікації.

Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility toelevate the sensor’s operating temperature range. Several modifications of pressure sensors based on the proposed strain-unit design were developed.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"