Бокучава Г. В. Состав и морфология кремний и кремний-германиевых пленок легированных бором и фосфором на монокристаллах Si и Si - Ge / Г. В. Бокучава, В. Д. Вирич, Г. Ш. Дарсавелидзе, А. Ю. Журавлёв, В. В. Левенец, Н. А. Семёнов, С. В. Стригуновский, А. А. Сущая, Б. М. Широков // Авиац.-косм. техника и технология. - 2010. - № 4. - С. 26-29. - Библиогр.: 7 назв. - рус.С помощью методов лазерной масс-спектрометрии, микрорентгеноспектрального анализа, растровой микроскопии и ядерно-физическими исследованиями изучены морфология, состав эпитаксиальных пленок, определены профили распределения основных элементов Si, Ge и примесных Р и В. Получены профили распределения элементов на границе раздела подложка-пленка. Показано, что в зависимости от условий получения можно реализовывать поликристаллические и эпитаксиальные варианты структуры в широком диапазоне концентраций основных элементов и вводимых примесей Р и В. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + В379.221 + В379.226
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24839 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|