Для синтеза износостойких покрытий на изделиях из проводящих и диэлектрических материалов сложной геометрической формы с выступами и полостями разработан источник потока медленных атомов металла, совмещённого с потоком быстрых молекул газа. При давлении 0,2 - 0,5 Па смеси аргона и азота (15 %) на обрабатываемых изделиях синтезируются нитридные покрытия, бомбардируемые молекулами газа с энергией, регулируемой от нуля до сотен электрон-вольт. Совпадение траекторий атомов металла и быстрых молекул газа от общей эмиссионной сетки до вращающихся в камере изделий обеспечивает непрерывность бомбардировки быстрыми молекулами покрытий, синтезируемых внутри и снаружи полостей, и идентичность их свойств, несмотря на меньшую толщину покрытий внутри полостей.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Мельник Юлія Анатоліївна (філологічні науки)
• Мельник Юлія Анатоліївна (технічні науки)
• Мельник Юрій Анатолійович (сільськогосподарські науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"