Проанализированы основные параметры подложек электронной техники, влияющие на качество конечного изделия. Рассмотрена шероховатость поверхности. Исследованы методы контроля шероховатости, выявлены их преимущества и недостатки. Определены перспективные задачи по созданию автоматизированных систем контроля качества поверхности подложек, в частности таких, которые будут разрабатываться на основании оптических методов.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"