Проведено теоретичне дослідження розповсюдження температурних профілів в нестехіометричних плівках SiOx під час лазерного відпалу одиничним імпульсом. Розраховано розподіл температури на поверхні плівок SiOx, опромінених лазерним променем з різною інтенсивністю. Знайдено розподіл температури на різній глибині плівок SiOx, опромінених лазерним променем з інтенсивністю 52 МВт/см<^>2. Показано, що під час лазерного відпалу з інтенсивністю 52 МВт/см<^>2 температура на поверхні плівок SiOx може досягати 1800 К.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Семчук Олександр Юрійович (1950–) (фізико-математичні науки)
• Федоренко Леонід Леонідович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"