Побудовано комп'ютерну модель магнетронного розпилювального пристрою з двома зонами ерозії, засновану на методі Монте-Карло, де введено алгоритм пошуку самоузгоджених стартових позицій вторинних електронів на катоді. Для перевірки результатів комп'ютерного моделювання виготовлено зоновану тестову мішень для даного магнетронного розпилювального пристрою, яка забезпечила вимірювання розподілів розрядного струму по своїй поверхні. Порівняння результатів експерименту та моделювання показали їх відповідність за однакових умов.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"