Dependence of deformation characteristics changing in superlattice (SL) structures AlxGa1-xN/GaN with A1 (~10 %) on the well-barrier thickness ratio in period was studied in this work. The deformation state of SL and individual layers, relaxation level and periods, layers' thickness and composition of AlxGa1-xN layers were analyzed using high-resolution X-ray diffractometry. It was ascertained that the buffer layer and SL layers are compressed in all the investigated structures. Thus, it has been shown that deformation of the SL period depends on the well/barrier thickness ratio. Thicknesses of individual layers in SL strongly depend on the deformation state of the whole system. Increasing the deformation level leads to the increase of the barrier layer thickness.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Станчу Григорій Вікторович (фізико-математичні науки)
• Кучук Андріан Володимирович (1979–) (фізико-математичні науки)
• Мельник Віктор Павлович (1963–) (фізико-математичні науки)
• Мельник Володимир Петрович (1952–) (філософські науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"