Исследован высокочастотный (ВЧ) индуктивный ионный источник, работающий на частоте 27,12 МГц. С использованием глобальной модели аргонового разряда рассчитана плотность плазмы, электронная температура и плотность ионного тока ВЧ-источника в зависимости от поглощенной ВЧ-мощности и давления газа при изменении размеров разрядной камеры. Установлено, что плотность тока ионного пучка возрастает при уменьшении размеров разрядной камеры. Расчеты показывают, что в индуктивном источнике с разрядной камерой диаметром 30 мм и длиной 35 мм при 100 Вт поглощенной ВЧ-мощности и давлении аргона 7 мТорр плотность ионного тока равна 40 мА/см<^>22. При уменьшении диаметра разрядной камеры до 15 мм плотность ионного тока может достигать величины 85 мА/см<^>2 при 100 Вт поглощенной ВЧ-мощности.

• Шульга Дмитро Петрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"