Voznyi V. Development of the RF ion sources for focused ion beam accelerators = Разработка ВЧ ионных источников для ускорителей сфокусированных ионных пучков / V. Voznyi, V. Miroshnichenko, S. Mordyk, D. Shulha, V. Storizhko, V. Tokman // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2013. - 5, 4 (ч. 2). - С. 04060(6)-04061. - Бібліогр.: 23 назв. - англ.Представлены результаты исследований ионных источников, разработанных в ИПФ НАН Украины, для получения высокояркостных ионных пучков с малым энергетическим разбросом. Проведено исследование ряда ионных ВЧ-источников, работающих на частоте 27,12 МГц: индуктивного ВЧ-источника, геликонного источника, мультикаспового ВЧ-источника и распылительного ВЧ-источника ионов металлов. Для расчета плазменных параметров ВЧ-источников рассмотрены глобальная и трансформаторная модели разряда. Проведены измерения энергетического разброса, массового состава и плотности тока некоторых источников в широком диапазоне ВЧ-мощности, вытягивающего напряжения и давления рабочего газа. Індекс рубрикатора НБУВ: В381.104.8 + В381.105.5
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Наукова періодика України
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|