Соболь О. В. Структурная инженерия многослойной системы TiN / CrN, полученной вакуумно-дуговым испарением / О. В. Соболь, А. А. Андреев, В. Ф. Горбань, В. А. Столбовой, Н. В. Пинчук, А. А. Мейлехов // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2015. - 7, № 1. - С. 1034(6). - Библиогр.: 9 назв. - рус.С помощью методов рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура и твердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN / CrN, полученных в интервале давления азота <$E1~cdot~10 sup - 5...5~cdot~10 sup -3> Торр при подаче постоянного и импульсного отрицательного потенциала смещения. Установлено формирование двухфазного состояния с преимущественной ориентацией роста кристаллитов. При высоком давлении <$E(1...5)~cdot~10 sup -3> Торр и подаче отрицательного постоянного потенциала смещения: Unn = -20 В - ось текстуры [100], при - 230 В - ось текстуры [111]. Основываясь на исследованиях субструктурного состояния, установлена связь перехода в сверхтвердое (до 57 ГПа) состояние с уменьшением микродеформации и размера кристаллитов в TiN слоях. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030.022-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|