Описано розроблені фотолітографічні процеси на базі реверсивних і перехідних фотоструктурних змін у відпалених плівках халькогенідних скловидних напівпровідників (ХСН). Показано, що негативні протравлювачі на основі амінів розчиняють експоновані ділянки відпалених халькогенідних плівок, тобто діють як позитивні протравлювачі. Висвітлено переваги нових процесів над традиційними. Наведено приклади різноманітних мікрорельєфних структур, виготовлених з використанням нових технологій, та можливості їх застосування. Розглянуто фізичні механізми фотостимульованих структурних перетворень, що призводять до зміни розчинності плівок ХСН у селективних протравлювачах.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Данько Віктор Андрійович (фізико-математичні науки)
• Індутний Іван Захарович (1949–) (фізико-математичні науки)
• Луканюк Марія Василівна (фізико-математичні науки)
• Минько Віктор Іванович (фізико-математичні науки)
• Шепелявий Петро Євгенович (технічні науки)
• Юхимчук Володимир Олександрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"