Изучено влияние постоянного и импульсного отрицательного потенциалов смещения, подаваемых на подложку в процессе осаждения на фазовый состав, структуру, субструктуру и механические характеристики многослойных покрытий ZrN/TiN с толщиной бислоя 50 - 200 нм. Установлена двухфазность получаемого покрытия из ZrN и TiN фаз с ГЦК решеткой структурного типа NaCl, без существенного перемешивания и потери планарности слоев. Использование высоковольтных импульсов позволяет в значительной степени изменять структуру и свойства при U_b < 100 В. При большем значении U_b, постоянный потенциал становится определяющим для структурной инженерии покрытия. Показано, что наибольшая твердость присуща покрытиям полученным при U_b = -140... -150 В, при этом H/E достигает большой величины 0,14, что сложно получить в однослойных покрытиях.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Соболь Олег Валентинович (фізико-математичні науки)
• Соболь Оксана Вікторівна (хімічні науки)
• Горбань Віктор Федорович (1944–) (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"