РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000623166<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Рогоз В. Н. 
Влияние безвакуумного отжига на морфологию покрытий NbNx, NbNx : Si / В. Н. Рогоз, А. П. Кузьменко, О. В. Соболь, А. Плющик // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2016. - 8, № 2. - С. 02019-1-02019-5. - Библиогр.: 9 назв. - рус.

Описаны особенности изменения нитридных покрытий NbNx и легированных атомами Si NbNx : Si с добавлением примеси кремния и без него. Образцы были получены с помощью метода магнетронного осаждения при отрицательном потенциале Us = - 10 В на подложку из кремния. После осаждения проводился высокотемпературный отжиг 800 °C в атмосфере воздуха.


Індекс рубрикатора НБУВ: К663.235-18

Рубрики:
 Покриття металів тугоплавкими та рідкими металами 

Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Повний текст  Наукова періодика України 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського